摘要：本發明公開了一種單晶圓干燥裝置，包括：工藝腔體(7)和設置在所述工藝腔體(7)中的晶圓支撐(20)，還包括：一端連接于所述工藝腔體(7)外壁上的進氣管(6)和連接在所述進氣管(6)上的第一氮氣輸入管路(3)，所述進氣管(6)的另一端與用于裝載異丙酮的蒸汽腔體(2)連接，所述蒸汽腔體(2)內設有加熱裝置(1)，所述蒸汽腔體(2)出口和所述第一氮氣輸入管路(3)內均設有氣體質量流量計，通過各個部件之間的配合，避免了干燥過程中產生水痕導致產品缺陷。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張曉紅;吳儀;趙宏宇;王銳廷;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201010582195.7
- 申請時間2010年12月06日
- 申請公布號CN102148133B
- 申請公布時間2012年09月05日
- 分類號H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;F26B3/02(2006.01)I;
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