摘要：揭示了一種半導體工藝氣路顯示裝置。該裝置包括面板和設置在面板上的氣路模擬圖，所述氣路模擬圖包括：線路，用于表示輸送氣體的管路；指示燈，設置在線路上，用于表示控制管路氣體流通的對應電磁閥的通斷狀態；數字顯示模塊，設置在線路上，用于顯示對應管路的氣體壓力和/或氣體流量。通過采用設置在面板上的氣路模擬圖來顯示電磁閥的實際通斷狀態、管路的氣體壓力以及氣體流量，便于監視氣路狀態，造價低廉，使用簡單。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人慕曉航;張海輪;盧言曉;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201320881824.5
- 申請時間2013年12月30日
- 申請公布號CN203746799U
- 申請公布時間2014年07月30日
- 分類號H01L21/00(2006.01)I;
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