摘要：本實用新型公開了一種用于物理氣相沉積且能更好降低工件溫度的卡具，所述卡具包括金屬基座、金屬擋片、絕熱層和安裝孔，其特征在于：金屬基座上設有用于裝卡工件的溝槽，金屬基座除溝槽以外的表面上覆蓋絕熱層，金屬基座底部設有金屬擋片，金屬擋片不與工件接觸的一面上設有絕熱層，金屬基座上設有安裝孔。其中金屬基座由選自鋁、銅或鐵的一種高比熱材料組成，絕熱層為玻璃纖維或耐火纖維，溝槽中的各面與工件表面緊密接觸。該工件卡具優點在于基座由高比熱材料組成，可以在吸收相同熱量的情況下具有較低的溫升。同時，金屬基座上覆蓋的絕熱層可以更好的隔絕來自外界的熱量。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京東方新材科技有限公司;
- 發明人張云龍;徐健;程云立;承高建;
- 地址100085北京市海淀區上地信息產業基地三街九號金隅大廈C座1112室
- 申請號CN200820122496.X
- 申請時間2008年10月21日
- 申請公布號CN201313932Y
- 申請公布時間2009年09月23日
- 分類號C23C14/22(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I;
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