摘要：一種用于真空鍍膜機的高潔凈真空抽氣系統，包括真空鍍膜室、制冷盤管、高真空機組和低真空預抽機組，其特征在于：所述的高潔凈真空抽氣系統還包括高真空抽氣管道、高真空抽氣管道預抽機組，所述低真空預抽機組通過預抽真空管道與所述真空鍍膜室相連通，所述高真空抽氣管道與真空鍍膜室相連通，高真空抽氣管道與真空鍍膜室的連接處設有真空閘板閥，所述制冷盤管安裝在高真空抽氣管道內部，所述高真空抽氣管道預抽機組與高真空抽氣管道相連通，所述高真空機組與高真空抽氣管道相連通，高真空機組與高真空抽氣管道的連接處設有高真空閥。
- 專利類型實用新型
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮顏屋村第四工業區
- 申請號CN201020597023.2
- 申請時間2010年11月09日
- 申請公布號CN201857423U
- 申請公布時間2011年06月08日
- 分類號C23C14/22(2006.01)I;
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