摘要:本發明公開了一種具有高發光效率量子壘的外延片及其制備方法,屬于發光二極管領域。該方法包括:提供一襯底;在所述襯底上依次生長u型GaN層和N型GaN層;在所述N型GaN層上生長多量子阱有源層,所述多量子阱有源層包括交替生長的多個InGaN阱層和多個GaN壘層,所述多個GaN壘層中的最靠近所述N型GaN層的至少一個所述GaN壘層為P型GaN壘;在所述多量子阱有源層上生長P型GaN載流子層。本發明中,最靠近N型GaN層的至少一個InGaN阱層中空穴濃度大幅增加,而在大電流密度下,注入多量子阱有源層中的電子是隨之增多的,所以可以大大提高電子和空穴在多量子阱有源層中的復合效率,使得電子溢漏的程度減小,提高了大電流密度下GaN基LED的發光效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人華燦光電股份有限公司;
- 發明人孫玉芹;王江波;
- 地址430223 湖北省武漢市東湖新技術開發區濱湖路8號
- 申請號CN201510599118.5
- 申請時間2015年09月18日
- 申請公布號CN105140357A
- 申請公布時間2015年12月09日
- 分類號H01L33/06(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I;