摘要：本發明涉及機械手技術領域，提供了一種手指間距可調的機械手及其晶圓搬運裝置。其中機械手包括：至少2個手指單元；至少2個調節桿，調節桿的一端與手指單元轉動連接，調節桿（的另一端與第一滑塊轉動連接；第一滑塊沿第一導軌運動，第一導軌沿手指單元的機械手指方向設置；手指單元的側邊設有第二導軌，第二導軌沿豎直方向設置，手指單元通過第二滑塊沿第二導軌運動；第一滑塊沿第一導軌運動，驅動調節桿轉動呈收縮或放開狀態，帶動手指單元沿第二導軌做上下運動。本發明實現了對機械手指間距的有效調節。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人徐方;趙嘉博;李學威;宋吉來;何偉全;張一博;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201310451948.4
- 申請時間2013年09月28日
- 申請公布號CN104511907A
- 申請公布時間2015年04月15日
- 分類號B25J15/08(2006.01)I;B25J9/10(2006.01)I;
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