摘要：本發明公開了一種芯片在線清洗干燥設備，包括自動進料機構、噴淋式清洗裝置、真空干燥設備、定位臺。所述真空干燥設備包括機架，機架的中部設置銜接清洗機的一對托住芯片兩側邊水平運動的干燥傳送帶，干燥傳送帶之間下方的機架上設置由機械動力控制頂托芯片上下運動的推板，推板的正上方設置帶有真空吸盤和紅外加熱管的第一真空室，第一真空室的一側設置通過連桿機構與第一真空室活動連接的、具有與第一真空室下端匹配的密封結構的第二真空室，第二真空室對應第一真空室設置密封結構的一側開設有與芯片對應的真空吸附孔。本發明結構簡單、設計巧妙，自動拾取芯片進行噴淋式清洗和真空干燥，在真空環境下對芯片進行熱力烘干，保護芯片不受損傷。
- 專利類型發明專利
- 申請人江陰迪林生物電子技術有限公司;
- 發明人白向陽;
- 地址214434 江蘇省無錫江陰市砂山路85號B4室
- 申請號CN201210279134.2
- 申請時間2012年07月26日
- 申請公布號CN102820242A
- 申請公布時間2012年12月12日
- 分類號H01L21/67(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;F26B15/18(2006.01)I;F26B7/00(2006.01)I;
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