摘要：本發明公開了一種盤狀物夾持裝置，涉及半導體晶片工藝技術領域，該裝置包括：卡盤主體、凸輪、轉軸、至少三個夾持部件，所述轉軸安裝在所述卡盤主體上，且與所述卡盤主體共軸線，用于帶動所述卡盤主體旋轉，所述凸輪可旋轉地安裝在所述卡盤主體上，且與所述卡盤主體共軸線，所述夾持部件安裝在所述卡盤主體上，其非夾持端通過限位擋塊頂在所述凸輪的活動面上，所述限位擋塊用于在所述凸輪隨卡盤主體轉動時，沿所述卡盤主體徑向固定所述夾持部件，所述活動面用于在所述凸輪相對卡盤主體轉動時，使所述夾持部件沿所述卡盤主體徑向向外移動。本發明實現了在不損壞被夾持物的情況下對盤狀物的夾持；且不限定機械手的夾持位置。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張豹;李偉;張曉紅;王銳廷;吳儀;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201110365937.5
- 申請時間2011年11月17日
- 申請公布號CN102437079B
- 申請公布時間2013年11月13日
- 分類號H01L21/683(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
