摘要：本發明涉及一種用濕法處理盤狀物的裝置及方法，包括用于承載盤狀物以及使其旋轉的載體，在載體的上方設置有分配器，在載體的外圍設有環狀液體收集器，載體位于環狀液體收集器的環口附近，在環狀液體收集器中設有內層、外層和至少一個中間層，內層、外層和至中間層的空間為液體回收腔室，在液體回收腔室的側壁上設有排氣孔，排氣孔通過管路與集氣腔室相連接，在外層與中間層上分別設有固定段和升降段，中間層的升降段還與升降機構相連接，中間層的升降段的上下升降是用于將工藝后的工藝液體回收到不同的回收腔室。本發明通過對液體回收腔室的氣、液的分開收集來減少氣、液混合，避免液體被吸入排氣孔。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張豹;韓雷剛;張曉紅;王銳廷;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN200910079703.7
- 申請時間2009年03月06日
- 申請公布號CN101488470B
- 申請公布時間2012年03月07日
- 分類號H01L21/683(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;
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