摘要：本發明公開了一種易清洗的薄壁盤狀物夾持裝置及清洗方法，該裝置由可旋轉的卡盤主體及其邊緣設置的至少兩組夾持元件組成，夾持元件可以以其與卡盤主體的連接點為旋轉中心進行擺動，其底端與卡盤主體連接有徑向的壓縮彈簧；清洗時同組夾持元件的動作一致，兩組夾持元件交替打開和卡緊。通過采用同組夾持元件安裝對外同極性磁鐵，不同組夾持元件安裝磁極相反磁鐵；卡盤主體上均勻間隔設兩組電磁鐵。清洗初期兩組電磁鐵不通電，兩組夾持裝置處于壓縮彈簧彈力作用下的夾緊狀態，清洗時通過改變電磁鐵中電流方向來使夾持元件交替打開。本發明可以對夾持元件與薄壁盤狀物接觸的地方進行清洗，從而提高薄壁盤狀物的整體清洗質量。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人吳儀;王浩;李偉;王銳廷;張豹;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2號樓2層
- 申請號CN201210042925.3
- 申請時間2012年02月23日
- 申請公布號CN102569150B
- 申請公布時間2014年12月10日
- 分類號H01L21/683(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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