摘要：本實用新型涉及一種蒸發鍍膜儀，包括機架，所述機架上固定有真空室，所述真空室內頂部設置有基片臺、內底部對應于基片臺的下方位置設置有蒸發源，所述真空室外頂部設置有連接于基片臺并用于驅動基片臺勻速旋轉的旋轉電機。本實用新型提供的蒸發鍍膜儀，將待鍍工件安裝在基片臺，將待蒸發鍍膜的材料放在蒸發坩堝里，啟動旋轉電機工作，基片臺能夠勻速轉動，保證蒸發材料均布在基片表面，鍍膜均勻，鍍膜品質高。
- 專利類型實用新型
- 申請人合肥科晶材料技術有限公司;
- 發明人邾根祥;方輝;江曉平;朱沫浥;王衛;
- 地址230031 安徽省合肥市長江西路669號華源實業園
- 申請號CN201620521609.8
- 申請時間2016年06月01日
- 申請公布號CN205821439U
- 申請公布時間2016年12月21日
- 分類號C23C14/26(2006.01)I;
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