摘要：本實用新型公開了一種蒸發鍍膜儀，包括機架，機架上設有真空室，真空室內設有載物臺；載物臺設置在真空室的上腔體中，真空室的下腔體中設有電蒸發系統，電蒸發系統包括陶封電極，陶封電極包括公共電極及一個以上的負極，公共電極與負極之間連接有鎢體。本實用新型通過鎢體，依靠電蒸發系統和真空腔室，采用從下往上的蒸發方式，大大的提高了蒸發的效率，可簡單并有效的滿足蒸鍍要求。
- 專利類型實用新型
- 申請人合肥科晶材料技術有限公司;
- 發明人邾根祥;朱沫浥;汪震;江曉平;
- 地址230031 安徽省合肥市長江西路669號華源實業園
- 申請號CN201420843031.9
- 申請時間2014年12月25日
- 申請公布號CN204369974U
- 申請公布時間2015年06月03日
- 分類號C23C14/26(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
