摘要：本發明公開了一種電阻式熱蒸發制備鐵磁性材料Fe3Si薄膜的工藝，其特征在于：它包括下述步驟：第一步驟，選取耐高溫石英片和單晶Si片作襯底，清洗吹干；第二步驟，將鐵顆粒和硅顆粒按不同配比進行備料；第三步驟，按上述步驟得到的不同配比鍍料，在襯底上蒸鍍一層Fe-Si混合薄膜；第四步驟，將上述步驟得到的樣品放置于高真空熱處理爐中800～900℃退火2小時獲得Fe-Si化合物中的金屬相Fe3Si鐵磁性薄膜。
- 專利類型發明專利
- 申請人貴州大學;
- 發明人謝泉;謝晶;劉棟;高賜國;張晉敏;肖清泉;陳茜;廖楊芳;范夢慧;黃晉;
- 地址550025 貴州省貴陽市貴州大學花溪北校區科技處
- 申請號CN201510905584.1
- 申請時間2015年12月10日
- 申請公布號CN105441877A
- 申請公布時間2016年03月30日
- 分類號C23C14/26(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;
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