摘要：本實用新型公開了一種磁控濺射靶槍，所述磁控濺射靶槍為圓柱形磁控濺射靶槍，包括基座、磁靶和靶材，所述磁靶固定于基座之上，所述靶材通過旋轉軸固定在磁靶上；所述磁靶包括磁芯和環狀磁鐵座，所述環狀磁鐵座上設有均勻排列的磁鐵塊，形成中心-外環的環狀磁靶設計；所述磁芯和磁鐵座環之間設有冷卻裝置，所述冷卻裝置包括上下兩個無氧銅水冷以及位于上下兩個無氧銅水冷之間的導熱板。所述的磁控濺射靶槍采用的獨特的中心-外環的環狀磁靶設計，使磁場全面覆蓋靶材，提高靶材的利用率；采用上下兩個無氧銅水冷之間設置導熱板形成冷卻裝置，及時有效的將磁靶運轉中產生的熱量散發出去，保證其長期運轉的穩定性，濺射均勻，以得到質量優良的薄膜。
- 專利類型實用新型
- 申請人廈門烯成新材料科技有限公司;
- 發明人王振中;
- 地址361015 福建省廈門市火炬高新區創業園偉業樓南樓S301C室
- 申請號CN201520477129.1
- 申請時間2015年07月04日
- 申請公布號CN204779787U
- 申請公布時間2015年11月18日
- 分類號C23C14/35(2006.01)I;
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