摘要：本實用新型涉及一種旋轉式圓柱形磁控靶，具有圓柱形靶材和空心雙軸磁流體，圓柱形靶材一端安裝在空心雙軸磁流體的外軸上，圓柱形靶材另一端設有封蓋；圓柱形靶材內部設有極靴及磁鐵、冷卻水和電極接線組件，極靴及磁鐵、冷卻水和電極接線組件一端安裝在空心雙軸磁流體的內軸上，另一端固定在封蓋上，空心雙軸磁流體的外軸與電機通過傳動裝置轉動連接；空心雙軸磁流體的內軸固定在設備工作臺的臺板上。本實用新型具有膜厚均勻、性能穩定和靶材利用率高(可達到75％以上)等特點，體積小，適合實驗室使用、適合單人操作，提高了沉積薄膜的均勻性。
- 專利類型實用新型
- 申請人沈陽騰鰲真空技術有限公司;
- 發明人慈連鰲;
- 地址110101 遼寧省沈陽市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
- 申請號CN201520490462.6
- 申請時間2015年07月09日
- 申請公布號CN204779789U
- 申請公布時間2015年11月18日
- 分類號C23C14/35(2006.01)I;
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