摘要：本實用新型涉及一種氣相沉積設備。本實用新型的一種用于制備石墨烯薄膜的化學氣相沉積裝置，所述裝置包括一石英管，所述石英管輸入端通過法蘭連接有充氣系統，所述石英管輸出端通過法蘭分別連接有氣壓調節器和真空系統，所述石英管外包圍有加熱爐膛。本實用新型的化學氣相沉積裝置可兼容常壓與真空兩種制備石墨烯薄膜的工藝，可實現自限制與滲析兩種不同機理的石墨烯薄膜生長方式，實現整個石墨烯薄膜生長過程的實時監控和全自動化。
- 專利類型實用新型
- 申請人廈門烯成新材料科技有限公司;
- 發明人劉長江;連榕;
- 地址361000 福建省廈門市火炬高新區創業園偉業樓南樓S301C室
- 申請號CN201220500089.4
- 申請時間2012年09月28日
- 申請公布號CN202913056U
- 申請公布時間2013年05月01日
- 分類號C23C16/26(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;
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