摘要：本實用新型公開一種用于石墨烯化學氣相沉積設備的雜質氣體吸附裝置，包括一氣流通道，該通道一端為石墨烯化學氣相沉積中的混合氣體入口，在氣流通道外側裝有若干組半導體致冷片，各致冷片通電聯接形成電學低溫氣流冷阱并吸附雜質氣體，氣流通道另一端為純化氣體出口。本實用新型采用半導體致冷器件，通過低溫吸附的方法，除去混合氣源中的雜質氣體，結構簡單，使用方便，易于維護。
- 專利類型實用新型
- 申請人廈門烯成新材料科技有限公司;
- 發明人劉長江;連榕;
- 地址361000 福建省廈門市火炬高新區創業園偉業樓南樓S301C室
- 申請號CN201320211860.0
- 申請時間2013年04月24日
- 申請公布號CN203264325U
- 申請公布時間2013年11月06日
- 分類號B01D8/00(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;
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