摘要：本發明公開一種場發射電子槍烘烤裝置和一種電子槍室的烘烤方法，其中熱源設置在電子槍室內部，優選的靠近相關零件設置，直接對零件熱輻射，從而提高導熱效率，使相關零件表面的氣體分子充分逸出，這樣在電子槍室處于工作狀態時，電子槍室內的真空度將不會有明顯降低；在現有技術方案中，由于電阻絲在加熱過程中會釋放氣體，因此為了避免電阻絲釋放氣體導致電子槍室內的真空度下降，因此電阻絲只能夠設置在電子槍室的外部，造成加熱效率低，部分零件溫升不足、部分零件過熱的技術缺陷。而本發明的場發射電子槍烘烤裝置恰恰克服了上述技術偏見，將熱源設置在電子槍室內對零件進行烘烤，克服了現有技術采用加熱帶加熱，熱輻射效果不好的技術缺陷。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發明人孫占峰;
- 地址100190 北京市海淀區中關村北二條13號
- 申請號CN201510446649.0
- 申請時間2015年07月27日
- 申請公布號CN105140091A
- 申請公布時間2015年12月09日
- 分類號H01J37/073(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;
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