摘要:本實用新型公開一種向真空室內同軸引入動力和冷卻水的轉軸裝置,包括轉軸(1),所述轉軸(1)上沿軸向方向設置有可對真空室進行密封的動密封裝置以及可帶動所述轉軸(1)轉動的驅動裝置,所述轉軸(1)靠近所述驅動裝置的一端連接有旋轉水套(18),所述轉軸(1)中形成有沿軸向方向延伸的進水通道(26)和出水通道(27);所述進水通道(26)和所述出水通道(27)的一端分別與所述旋轉水套(18)的進水口(19)和出水口(23)相通,另一端可分別與真空室內的生熱部件的冷卻水腔室相通,該轉軸裝置能夠向真空室引入旋轉動力并保持真空室良好密封的同時,對真空室內的生熱部件進行相應的冷卻降溫。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發明人曹桂英;
- 地址100190 北京市海淀區中關村北二條13號
- 申請號CN201320102377.9
- 申請時間2013年03月06日
- 申請公布號CN203239741U
- 申請公布時間2013年10月16日
- 分類號F16C3/02(2006.01)I;F16C35/08(2006.01)I;F16J15/16(2006.01)I;F16J15/43(2006.01)I;