摘要：本發明提供一種掃描電鏡探針電流檢測裝置和一種掃描電鏡，其中的掃描單元在正掃階段時，偏轉單元控制其中的電子束不發生偏轉，檢測電路不進行電子束的采樣操作，此時電子束正常通過鏡筒，打到樣品表面，實現對樣品的成像。掃描單元在回掃階段時，偏轉單元控制其中的電子束發生偏轉，檢測電路進行電子束的采樣操作，由此得到探針電流的數值。這一過程完全不需要移動樣品臺進行。由于回掃階段電子束不參與成像，所以利用回掃階段進行探針電流檢測不會中斷掃描電鏡的圖像采集，在電鏡圖像采集的同時實時檢測探針電流的變化，高效地完成進行探針電流檢測。同時由于探針電流檢測不需要移動樣品臺進行，因此對樣品臺的精度要求可以有所降低。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京中科科儀股份有限公司;
- 發明人王大千;孟祥良;
- 地址100190 北京市海淀區中關村北二條13號
- 申請號CN201510257327.1
- 申請時間2015年05月19日
- 申請公布號CN105006416A
- 申請公布時間2015年10月28日
- 分類號H01J37/28(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I;G01R19/00(2006.01)I;
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