摘要：本發明公開了一種卷對卷連續石墨烯薄膜生長設備，它包括有機體，工作臺兩端分別設有真空腔，真空腔室上連接有真空管，真空腔室一側依次設有射頻等離子發生器、加熱爐、液氮冷阱；通過在真空腔室內設有卷狀銅箔對石墨烯進行卷對卷連續制備大面積、高質量石墨烯的設備。采用該設備制備石墨烯，相對于現有方法具有快速、連續的優點，可以進行大面積、高質量石墨烯的規?；L。
- 專利類型發明專利
- 申請人安徽貝意克設備技術有限公司;
- 發明人孔令杰;吳克松;王釗;
- 地址230088 安徽省合肥市高新區科學大道110號
- 申請號CN201610076741.7
- 申請時間2016年01月31日
- 申請公布號CN105752968A
- 申請公布時間2016年07月13日
- 分類號C01B31/04(2006.01)I;
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