摘要:本實用新型公開了一種石墨烯薄膜連續規?;练e設備,包括:密閉的真空室(1)、用于石墨烯沉積的沉積箔帶(2)和設于真空室兩端的石墨烯沉積箔帶的收放卷倉(3),以及與所述石墨烯沉積箔帶(2)相連接的驅動裝置(4),所述驅動裝置(4)包括驅動電機與石墨烯沉積箔帶收放卷輥(5),且所述真空室(1)與收放卷倉(3)中間設有用于石墨烯沉積箔帶加熱裝置(7),其沿著石墨烯沉積箔帶(2)的運動方向,所述收放卷倉口設有用于冷卻沉積有石墨烯的沉積箔帶的快速冷卻裝置(8),以使得高溫的石墨烯沉積箔帶(2)快速冷卻至常溫,并使的后續制備進程快速連續地進行。
- 專利類型實用新型
- 申請人咸陽鴻峰窯爐設備有限公司;
- 發明人王宏飛;戚順昌;吳洪;
- 地址712000 陜西省咸陽市秦都區留渭路3號
- 申請號CN201520927920.8
- 申請時間2015年11月20日
- 申請公布號CN205295454U
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號C23C16/26(2006.01)I;