摘要:本發明公開了一種常壓化學氣相沉積雙層石墨烯膜的方法,其包括銅箔預處理、銅箔退火、雙層石墨烯膜的生長和冷卻過程,銅箔在H2和Ar混合氣中于850~1050oC下退火,在不改變H2和Ar流速和反應溫度的情況下,繼續通入乙炔氣生長獲得雙層石墨烯膜。本發明制備的雙層石墨烯質量高,克服了常壓制備石墨烯方法的缺陷。
- 專利類型發明專利
- 申請人西北大學;
- 發明人任兆玉;王惠;祁媚;李渭龍;
- 地址710069 陜西省西安市太白北路229號
- 申請號CN201210585747.9
- 申請時間2012年12月29日
- 申請公布號CN103352202B
- 申請公布時間2016年04月13日
- 分類號C23C16/26(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/02(2006.01)I;