摘要：本發明公開了一種自支撐類石墨多孔非晶碳薄膜的制備方法，包括下述步驟：S1：對金屬鎳片襯底進行超聲清洗，并烘干后放置于管式爐中；S2：向所述管式爐中通入惰性氣體；S3：對所述管式爐進行升溫處理使其達到600℃?720℃，向所述管式爐中通入氫氣，并對所述金屬鎳片襯底進行熱處理；S4：向所述管式爐中通入碳氫化合物，使得經過熱處理后的金屬鎳片襯底催化碳氫化合物裂解后生長非晶碳薄膜；S5：對所述管式爐進行降溫處理，并將生長有非晶碳薄膜的鎳片浸泡在腐蝕液中腐蝕掉襯底鎳片后獲得自支撐類石墨多孔非晶碳薄膜。采用本發明制備方法對環境溫度要求不高，制備得到的非晶碳薄膜具有多孔結構和自支撐結構，可以很方便轉移至任何襯底。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人魏合林;朱大明;劉宇昊;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201310624301.7
- 申請時間2013年11月28日
- 申請公布號CN103643217B
- 申請公布時間2016年08月17日
- 分類號C23C16/26(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I;C23C16/56(2006.01)I;
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