摘要：本實用新型公開了一種可實現自動翻轉的基片架，基片架包括基片卡具，基片卡具通過回轉軸安裝在支座上，回轉軸的后端設有棘輪，與棘輪對應的部位設有棘爪，棘爪連接有升降裝置；當棘爪上升時，棘爪與棘輪嚙合；當棘爪下降時，棘爪與棘輪分離。通過棘輪-棘爪機構可以在鍍膜過程中實現基片的自由翻轉，克服真空濺射鍍膜設備和真空蒸發鍍膜設備繞射性差的特點，使基片的兩個表面在一次鍍膜工藝過程中都能均勻、牢固的沉積上薄膜，以達到完成工藝要求、保證鍍膜質量同時提高工作效率的目的。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京北儀創新真空技術有限責任公司;
- 發明人李輝;
- 地址102600 北京市大興區大興工業開發區前高米店盛坊路儀器儀表基地
- 申請號CN201220101661.X
- 申請時間2012年03月16日
- 申請公布號CN202499902U
- 申請公布時間2012年10月24日
- 分類號C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;
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