摘要：本實用新型涉及一種三點支撐三點換位工件架，包括自轉電機、自轉傳動機構、三點換位電機以及換位機構，其中自轉電機的輸出端經自轉傳動機構與工件架傳動連接，三點換位電機驅動換位機構轉動換位；換位機構包括三點換位升降滾珠絲桿、升降盤、導向機構、支撐柱、固定盤以及換位支桿，其中換位升降滾珠絲桿的底端通過底腳固定于安裝底盤上，頂端與升降盤抵接，導向機構豎直設置，穿置于升降盤中，升降盤上布置多個用于安裝支撐點固定盤的支撐柱，安裝支撐點固定盤上設置三個換位支桿。本實用新型針可實現一次成膜，不需要多次鍍膜，提高工作效率的同時避免了多次鍍膜對膜表面的損傷，提高了樣品鍍膜合格率，間接保護了操作人員，避免造成人身損害。
- 專利類型實用新型
- 申請人沈陽騰鰲真空技術有限公司;
- 發明人慈連鰲;
- 地址110101 遼寧省沈陽市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
- 申請號CN201520493199.6
- 申請時間2015年07月09日
- 申請公布號CN204779793U
- 申請公布時間2015年11月18日
- 分類號C23C14/50(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;
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