摘要：本發明公開了一種鍍膜機，包括裝料機構、真空爐、傳動輸送機構、濺射靶組、真空抽吸組及控制中心，裝料機構設置于真空爐頂端靠近邊緣處，裝料機構的底部與真空爐連通；濺射靶組位于真空爐頂端且與裝料機構相鄰處；傳動輸送機構設置于真空爐內且與濺射靶組對應，傳動輸送機構的底端與真空爐的底部內側可拆卸連接；真空抽吸組位于真空爐的外側并通過管道與真空爐相通；裝料機構內側壁上設置有一加熱系統；傳動輸送機構、濺射靶組、真空抽吸組及加熱系統均與控制中心電連接。本發明中的鍍膜機分三個階段抽真空，保證抽真空時不產生明顯壓差，避免粉末飛起；傳動輸送機構一體設置便于拆卸替換或清理，還可根據粉體顆粒的大小進行合適的振動源的調節。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京泰科諾科技有限公司;
- 發明人彭建;施戈;李長棟;田琳;
- 地址100000 北京市昌平區崔村鎮西辛峰村南6區1號
- 申請號CN201610773101.1
- 申請時間2016年08月30日
- 申請公布號CN106119800A
- 申請公布時間2016年11月16日
- 分類號C23C14/35(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I;
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