摘要：本發明屬于流體閥門技術領域，尤其涉及一種可調節式真空限流閥。用于真空腔室和真空泵系統之間的限流閥，對真空系統的泵系統和真空腔的抽速進行限制。該限流閥由厚壁法蘭、步進電機、電機驅動器、主軸、調節裝置轉板組成。其中，厚壁法蘭的一側安裝步進電機和電機驅動器，步進電機和電機驅動器通過支桿和螺母進行固定；步進電機通過螺釘與主軸固接，主軸通過凸塊與橫向支桿和橫向支桿軸連接，凸塊由螺釘固定，橫向支桿和橫向支桿軸分別由螺釘和螺母固定，轉板通過拉板、轉軸和螺釘與調節裝置固接。本發明的有益效果是：該限流閥的結構合理，既能達到穩定抽速的作用，又具有體積精巧，成本低和長壽命的特點。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京泰科諾科技有限公司;
- 發明人陳良賢;施戈;
- 地址100096 北京市海淀區西三旗上奧世紀中心2A-1411
- 申請號CN201010191074.X
- 申請時間2010年05月26日
- 申請公布號CN101846190A
- 申請公布時間2010年09月29日
- 分類號F16K1/18(2006.01)I;F16K31/04(2006.01)I;F16K17/20(2006.01)I;
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