摘要：一種用于化學汽相沉積的轉盤反應器，其包括真空室和鐵磁流體穿通件，該鐵磁流體穿通件包括上部和下部鐵磁流體密封件，馬達軸通過該鐵磁流體穿通件進入真空室中。馬達聯接至馬達軸，并且定位在上部和下部鐵磁流體密封件之間的大氣區域中。轉臺定位在真空室中，并且聯接至馬達軸，從而馬達按所需轉速轉動轉臺。介電支架聯接至轉臺，從而轉臺當由軸驅動時轉動介電支架?；d體定位在用于化學汽相沉積處理的真空室中的介電支架上。加熱器定位成靠近基片載體，該加熱器將基片載體的溫度控制到化學汽相沉積所需的溫度。
- 專利類型發明專利
- 申請人維易科精密儀器國際貿易(上海)有限公司;
- 發明人L·S·巴里斯;R·A·科穆納萊;R·P·弗雷姆根;A·I·古拉雷;T·A·盧斯;R·W·米爾蓋特三世;J·D·波洛克;
- 地址美國紐約
- 申請號CN201610120769.6
- 申請時間2013年05月09日
- 申請公布號CN105734532A
- 申請公布時間2016年07月06日
- 分類號C23C16/458(2006.01)I;C23C16/46(2006.01)I;
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