摘要：本實用新型涉及一種微球沉積樣品架裝置，具有由步進電機驅動旋轉的樣品盤，還具有壓電陶瓷振動器，壓電陶瓷振動器設于真空室中，安裝于步進電機輸出端的樣品架上，樣品盤固定在壓電陶瓷振動器上；還具有水平敲擊組件，設于樣品架的側邊。本實用新型在樣品盤上加頻率控制和振動功能，這樣保證樣品不僅僅在轉動而且還有跳動，保證沉積均勻性。
- 專利類型實用新型
- 申請人沈陽騰鰲真空技術有限公司;
- 發明人慈連鰲;
- 地址110101 遼寧省沈陽市蘇家屯區大淑堡瑰香街83-5號
- 申請號CN201520494086.8
- 申請時間2015年07月09日
- 申請公布號CN204779801U
- 申請公布時間2015年11月18日
- 分類號C23C16/458(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;
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