摘要：本發明公開了一種基于行星流化的粉體原子層沉積裝置，包括電機、反應腔、行星架、夾持器和輸氣管路，其中，電機與行星架相連，行星架上安裝有中心輪和若干個行星輪；電機用于帶動中心輪和行星輪旋轉；夾持器位于反應腔內部，用于承載粉體；該夾持器還與行星輪相連，在行星輪的帶動下旋轉；輸氣管路用于向反應腔中輸入反應氣體或載氣。本發明能夠對夾持器內的粉體顆粒提供離心流化作用，同時結合軸向的氣流流化作用，克服了離心流化床沿軸向方向分布不均勻的狀況以及改善了傳統垂直流化床剪切力過小的特點，能有效提高粉體包覆率和均勻性，一次性能夠對大量粉體進行包覆，提高粉體包覆效率。
- 專利類型發明專利
- 申請人華中科技大學;
- 發明人陳蓉;竹鵬輝;段晨龍;巴偉明;單斌;文艷偉;
- 地址430074 湖北省武漢市洪山區珞喻路1037號
- 申請號CN201510953058.2
- 申請時間2015年12月17日
- 申請公布號CN105386011A
- 申請公布時間2016年03月09日
- 分類號C23C16/458(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/442(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;
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