摘要：本發明公開了一種帶有排氣的冷卻水供給裝置及控制方法，供給裝置包括主管路，一端通過總控閥門連接至工廠冷卻水供給端，另一端連接一排氣支路；主管路并聯有若干冷卻水輸出口，冷卻水輸出口連接冷卻水支路，冷卻水支路通過閥門連接至各冷卻點的供水管路上；排氣支路可作為備用冷卻水支路，通過閥門連接至所需冷卻點的供水管路上。本發明用于半導體熱處理設備的水冷系統，通過控制模塊執行對各閥門的啟閉組合模式，可及時排出管路中累積的空氣，有效避免了殘留空氣對冷卻水的精確控制造成的不利影響。本裝置結構簡單，控制方法易于操作，成本低廉，具備很好的實際推廣價值。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張軍奎;王麗榮;宋新豐;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201310753017.X
- 申請時間2013年12月31日
- 申請公布號CN103715066A
- 申請公布時間2014年04月09日
- 分類號H01L21/02(2006.01)I;
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