摘要：本發明提供一種用于半導體熱處理設備的溫度控制方法，包括：獲取所述半導體熱處理設備的控制熱偶所測量的溫度值；根據所述控制熱偶所測量的溫度值與所述半導體熱處理設備的溫度設定值，計算所需加熱的功率值；根據所述功率值，對所述半導體熱處理設備進行加熱。根據本發明，不再采用溫度儀表的方式來控制爐體的溫度，而是將通過溫度采集模塊采集到的溫度，直接傳給計算機，經計算機的內嵌的計算方法，根據爐體實際溫度與設定溫度間的偏差，計算出此時此刻爐體所需的功率值，將計算所得的功率值傳給功率輸出裝置，實時地對爐體進行控制，從而達到對爐體溫度的控制。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人曹志剛;楊海燕;鄭建宇;楊浩;李凡;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201310314476.8
- 申請時間2013年07月24日
- 申請公布號CN103389752A
- 申請公布時間2013年11月13日
- 分類號G05D23/22(2006.01)I;
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