摘要：一種半導體熱處理設備超溫與斷偶報警的處理裝置及方法，該方法包括：溫度監控表根據采集每個溫區熱電偶采集的溫度信息，產生超溫熱偶的溫信號和/或斷偶信號：當溫度監控表的一個輸出端有某一段或多段溫區的超溫熱偶的溫信號產生，該溫區對應的溫控表超溫報警延時繼電器開始計時，同時如果溫度監控表的另一輸出端在延時時間周期中，沒有斷偶信號輸出，則使爐體加熱繼電器得電其常閉觸點斷開，從而控制加熱使能繼電器失電而斷掉加熱，并向PLC發出超溫報警信號；若延時時間周期中有斷偶信號輸出，則斷偶報警繼電器的常閉觸點斷開，溫控表超溫報警延時繼電器計時復位，并向PLC發出斷偶報警。因此，本發明提高了設備的可靠性。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人王凱;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410072702.0
- 申請時間2014年02月28日
- 申請公布號CN103792972B
- 申請公布時間2016年08月17日
- 分類號G05D23/22(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
