摘要:本發明公開了一種Au-堿土金屬氧化物納米線透明導電薄膜的制備方法,包括步驟:將清洗干凈的玻璃襯底放入制膜設備反應室中;將金屬金粉末和堿土金屬氧化物粉末分別放置在兩個瓷舟中,再將兩個瓷舟放入制膜設備反應室的恒溫中心位置,玻璃襯底置于兩個瓷舟上方并與兩個瓷舟緊貼;對反應室抽真空處理;對反應室加熱到500~1100℃后,向反應室通入氬氣,并對金源和堿土金屬氧化物源蒸發處理;待上述步驟完成后,制得所述Au-堿土金屬氧化物納米線透明導電薄膜。本發明采用熱蒸發設備,制備Au-堿土金屬氧化物納米線透明導電薄膜,得到薄膜的方塊電阻低至18Ω/□,可見光透過率達91%,表面功函數達2.8eV。
- 專利類型發明專利
- 申請人海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技術有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司;
- 發明人周明杰;王平;陳吉星;張振華;
- 地址518000 廣東省深圳市南山區南海大道海王大廈A座22層
- 申請號CN201310731734.2
- 申請時間2013年12月26日
- 申請公布號CN104746012A
- 申請公布時間2015年07月01日
- 分類號C23C14/24(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;