摘要：本發明涉及一種高精度OLED器件的制備裝置及制備方法。包括蒸發源陣列、基板、傳動裝置以及配合蒸發源陣列的掩膜板；所述蒸發源陣列由若干個蒸發源排列而成，蒸發源中的材料垂直向上蒸發至基板上，通過傳動裝置帶動基板或蒸發源陣列的移動，完成基板的蒸鍍，進而形成OLED器件。本發明加大了基板與掩膜板的距離，減小掩膜板對蒸鍍的影響；減小蒸發源與基板的距離，使得蒸發材料更少地擴散在蒸發環境里，節約了蒸發材料；另外，還減小蒸發源間距，減小掩膜板孔隙間距，實現點對點的蒸發，增加單位面積內子像素的個數，實現了高精度OLED器件的制備。
- 專利類型發明專利
- 申請人福州大學;
- 發明人葉蕓;郭太良;嚴群;張永愛;呂珊紅;徐中煒;
- 地址350002 福建省福州市鼓樓區工業路523號
- 申請號CN201611137869.6
- 申請時間2016年12月12日
- 申請公布號CN106435483A
- 申請公布時間2017年02月22日
- 分類號C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
