<acronym id="pokdi"><strong id="pokdi"></strong></acronym>
      <acronym id="pokdi"><label id="pokdi"><xmp id="pokdi"></xmp></label></acronym>

      <td id="pokdi"><ruby id="pokdi"></ruby></td>
      <td id="pokdi"><option id="pokdi"></option></td>
      <td id="pokdi"></td>

        1. 首頁
        2. 裝備資訊
        3. 熱點專題
        4. 人物訪談
        5. 政府采購
        6. 產品庫
        7. 求購庫
        8. 企業庫
        9. 品牌排行
        10. 院校庫
        11. 案例·技術
        12. 會展信息
        13. 教育裝備采購網首頁 > 知識產權 > 專利 > CN204478837U

          用于降溫爐體的進排風系統

            摘要:本實用新型涉及半導體工藝設備技術領域,尤其涉及一種用于降溫爐體的進排風系統,該進排風系統包括進風風路和排風風路,所述進風風路上設有進風閥門,通過進風閥門開度組件調整所述進風閥門的開度;所述排風風路上設有排風閥門,通過排風閥門驅動裝置驅動所述排風閥門的開關。通過所述進風閥門開度組件調整所述進風閥門的開度,可精確控制進入所述降溫爐體內的低溫的冷卻介質,通過排風閥門驅動裝置驅動所述排風閥門的開關,可精確控制排出所述降溫爐體的高溫冷卻介質,從而保證降溫爐體的降溫性能,進而保證半導體熱處理工藝的質量。
          • 專利類型實用新型
          • 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
          • 發明人孫少東;侯建明;周厲穎;
          • 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
          • 申請號CN201520084047.0
          • 申請時間2015年02月05日
          • 申請公布號CN204478837U
          • 申請公布時間2015年07月15日
          • 分類號F27D9/00(2006.01)I;
          99久久国产自偷自偷免费一区|91久久精品无码一区|国语自产精品视频在线区|伊人久久大香线蕉av综合

            <acronym id="pokdi"><strong id="pokdi"></strong></acronym>
              <acronym id="pokdi"><label id="pokdi"><xmp id="pokdi"></xmp></label></acronym>

              <td id="pokdi"><ruby id="pokdi"></ruby></td>
              <td id="pokdi"><option id="pokdi"></option></td>
              <td id="pokdi"></td>