摘要：本發明涉及半導體工藝設備技術領域，尤其涉及一種用于降溫爐體的進排風系統，該進排風系統包括進風風路和排風風路，所述進風風路上設有進風閥門，通過進風閥門開度組件調整所述進風閥門的開度；所述排風風路上設有排風閥門，通過排風閥門驅動裝置驅動所述排風閥門的開關。通過所述進風閥門開度組件調整所述進風閥門的開度，可精確控制進入所述降溫爐體內的低溫的冷卻介質，通過排風閥門驅動裝置驅動所述排風閥門的開關，可精確控制排出所述降溫爐體的高溫冷卻介質，從而保證降溫爐體的降溫性能，進而保證半導體熱處理工藝的質量。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人孫少東;侯建明;周厲穎;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201510060784.1
- 申請時間2015年02月05日
- 申請公布號CN104634115B
- 申請公布時間2017年04月05日
- 分類號F27D9/00(2006.01)I;
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