摘要：本實用新型公開了一種晶圓片自動中心定位儀，包括LED燈、圖像傳感器、圖像數據處理器、像素計數器和控制電路，所述LED燈的信號輸出端與所述圖像傳感器的信號輸入端連接，所述圖像傳感器的信號輸出端與所述圖像數據處理器的信號輸入端連接，所述圖像數據處理器的信號輸出端與所述像素計數器的信號輸入端連接，所述控制電路的信號輸出端分別與所述圖像傳感器的信號輸入端和所述像素計數器的信號輸入端連接。本實用新型設計了一種晶圓片自動中心定位儀，可以用于機械手上，來完成對晶圓片的中心定位，使得具有定位精確、工作效率較高和材料報廢率較低的優點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京普瑞微納科技有限公司;
- 發明人雷楓;李少博;問孝明;
- 地址100080 北京市海淀區中關村東路95號8號樓415室
- 申請號CN201420114498.X
- 申請時間2014年03月14日
- 申請公布號CN203787407U
- 申請公布時間2014年08月20日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;
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