摘要：一種晶圓缺口邊緣中心預對準方法，包括以下步驟：提供一旋轉臺電機，用以支撐旋轉一晶圓；一傳感器，用以采集晶圓邊緣數據和獲取相對應的旋轉臺電機的碼盤值；該方法還包括：數據采樣、數據轉換、數據初處理、初處理數據歸一化、歸一化數據處理、缺口范圍確定，根據范圍內數據找出最低點，便為晶圓缺口邊緣中心位置。本發明提供的方法簡便高效。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人徐方;曲道奎;鄒風山;賈凱;陳守良;李學威;宋吉來;褚明杰;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201210002247.8
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103199046B
- 申請公布時間2015年09月09日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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