摘要：一種晶圓中心預對準方法，包括以下步驟：提供一旋轉臺電機，用以支撐旋轉一晶圓；光學探測器，用以采集晶圓邊緣數據和獲取相對應的旋轉臺電機的碼盤值；數據采樣、數據轉換、獲取當前電機碼盤值、直角坐標擬合、三點確定一個圓；通過多次進行三點擬合圓求均值而得到當前晶圓圓心位置。本發明晶圓中心預對準方法中，通過三點擬合方法求晶圓的中心的位置，該方法不受單個采樣數據誤差的影響，且數據的采樣很方便，并能充分的利用采樣數據，簡單而高效的計算出晶圓的中心。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人陳守良;郭海冰;鄒風山;李崇;劉曉帆;董狀;宋吉來;甘戈;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201210002309.5
- 申請時間2012年01月05日
- 申請公布號CN103199047A
- 申請公布時間2013年07月10日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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