摘要：本實用新型涉及一種轉速精密在線測量系統，包括光學干涉測量系統模塊、數據采集模塊和數據解析和結果表示模塊，所述光學干涉測量系統模塊包括準直用激光光源、測量用掃描激光光源、波分耦合器、光纖環形器、光波分光光纖、與數據采集模塊相連的檢測器和設置在轉盤上的反射鏡，波分耦合器的一端分別與準直用激光光源和所述檢測器相連，波分耦合器的另一端與光波分光光纖相連，光纖環形器的一端分別與測量用掃描激光光源和檢測器相連，光纖環形器的另一端與光波分光光纖相連，所述光波分光光纖的兩個出光口的前方均設有透鏡。本實用新型的有益效果為：結構簡單、操作方便，具有非接觸、測量的精度和靈敏度高等優點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京普瑞微納科技有限公司;
- 發明人雷楓;李少博;文孝明;
- 地址100085 北京市海淀區中關村東路95號8號樓415室
- 申請號CN201320162592.8
- 申請時間2013年04月03日
- 申請公布號CN203324296U
- 申請公布時間2013年12月04日
- 分類號G01P3/36(2006.01)I;
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