摘要：本發明涉及一種晶圓位置調節裝置，包括：一電動機，用于提供動能；一電機驅動器，用于驅動電動機；一控制單元，用于控制電機驅動器的工作狀態，工作狀態至少包括電動機開啟與電動機關閉；傳動機構，用于傳動電動機提供的動能至第一運動單元和第二運動單元，第一運動單元調節經過第一流水線的晶圓的位置，第二運動單元調節經過第二流水線的晶圓的位置。其結構簡單、實施技術成熟；在調試中，僅調試單個控制單元、單個電機驅動器和單臺電機即可，調試方便、高效。
- 專利類型發明專利
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人張航;王凱;慕曉航;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201410076562.4
- 申請時間2014年03月04日
- 申請公布號CN103811391B
- 申請公布時間2016年08月17日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I;
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