摘要:本發明涉及半導體制造技術領域,具體公開一種定位校準裝置。本發明包括:旋轉軸、四個卡爪,所述卡爪設置在所述旋轉軸上,所述卡爪環繞所述旋轉軸旋轉中心依次布置,所述卡爪兩兩之間夾角為45度、135度、45度、135度;所述135度夾角方向形成一貫通空間,用于機械手傳遞晶圓;所述卡爪外邊緣環繞形成圓半徑小于晶圓半徑。本發明利用卡爪結構用于檢測鍵合片偏心的Aligner,相對原有卡爪式Aligner,取消托架結構,而且旋轉軸不再需要上升下降,即可完成對鍵合片的偏心檢測功能;同時由于取消了上升下降過程,大大的提高檢測速度,且通過適當的降低旋轉速度,防止滑片的發生。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人鄒風山;姜鐵程;劉曉帆;李學威;韓志平;董狀;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201410634831.4
- 申請時間2014年11月12日
- 申請公布號CN105655277A
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;