摘要：本發明涉及半導體制造技術領域，具體公開一種定位校準裝置。本發明包括：旋轉軸、四個卡爪，所述卡爪設置在所述旋轉軸上，所述卡爪環繞所述旋轉軸旋轉中心依次布置，所述卡爪兩兩之間夾角為45度、135度、45度、135度；所述135度夾角方向形成一貫通空間，用于機械手傳遞晶圓；所述卡爪外邊緣環繞形成圓半徑小于晶圓半徑。本發明利用卡爪結構用于檢測鍵合片偏心的Aligner，相對原有卡爪式Aligner，取消托架結構，而且旋轉軸不再需要上升下降，即可完成對鍵合片的偏心檢測功能；同時由于取消了上升下降過程，大大的提高檢測速度，且通過適當的降低旋轉速度，防止滑片的發生。
- 專利類型發明專利
- 申請人沈陽新松機器人自動化股份有限公司;
- 發明人鄒風山;姜鐵程;劉曉帆;李學威;韓志平;董狀;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區金輝街16號
- 申請號CN201410634831.4
- 申請時間2014年11月12日
- 申請公布號CN105655277A
- 申請公布時間2016年06月08日
- 分類號H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;
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