摘要：本實用新型公開了一種換熱器均流裝置，包括換熱器、回風盒、回風盒下側設有出風口，所述換熱器與回風盒之間設有均流板，所述均流板劃分至少兩個不同的區域，所述均流板各區域設有若干個供氣流通過的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐漸減小。本實用新型提供的一種換熱器均流裝置，改善半導體設備微環境內部流場的均勻性，使流通換熱器的氣流均流，提高換熱器的使用效率，具有占用空間小、均流效果好、結構設計簡單和具有可調性等優點。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人宋新豐;王麗榮;
- 地址100016 北京市朝陽區酒仙橋東路1號
- 申請號CN201320891783.8
- 申請時間2013年12月31日
- 申請公布號CN203642774U
- 申請公布時間2014年06月11日
- 分類號F28F9/22(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;
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