摘要:一種真空鍍膜機抽氣系統低溫水汽捕集器的配置結構,所述的抽氣系統包括真空鍍膜機的鍍室抽氣口及外接的高真空抽氣管道(9),高真空抽氣管道(9)中設有高真空閥(10),其特征是:所述的高真空抽氣管道(9)中設有深冷井(7),深冷井(7)設在鍍室抽氣口至高真空抽氣管道中的高真空閥(10)之間,用深冷井閥(8)與高真空抽氣管道(9)隔離,低溫水汽捕集器設在深冷井(7)內。本實用新型為節能的、能獲得高潔凈真空的、更合理的真空鍍膜機抽氣系統低溫水汽捕集器的配置結構。
- 專利類型實用新型
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮顏屋村第四工業區
- 申請號CN201320206954.9
- 申請時間2013年04月22日
- 申請公布號CN203530422U
- 申請公布時間2014年04月09日
- 分類號C23C14/56(2006.01)I;F04B39/16(2006.01)I;B01D5/00(2006.01)I;B01D53/26(2006.01)I;