摘要：本發明涉及玻璃、塑料和陶瓷基體上制備各類薄膜的技術領域，具體地說是一種在五腔體全自動電子束沉積系統中使用的傳輸系統。包括自動傳輸機構、升降氣缸、樣品載板及樣品架，所述五腔體包括依次相連通的傳輸腔I、裝載腔I、工藝腔、裝載腔II及傳輸腔II，其中裝載腔I、工藝腔及裝載腔II內均設有升降氣缸、樣品載板及樣品架，所述樣品架與電機連接、并通過電機的驅動進行旋轉，所述樣品載板設置于樣品架上，所述升降氣缸對樣品載板進行提拉或放下，所述自動傳輸機構攜帶樣品載板在腔體間運動。本發明在產量高的同時，節約工藝腔在每次取換樣品載板后的抽氣時間，讓工藝過程與取放樣品載板同時進行。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人趙科新;趙崇凌;李士軍;洪克超;徐寶利;張健;張冬;王磊;李松;林峰雪;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區新源街一號
- 申請號CN201310563039.X
- 申請時間2013年11月13日
- 申請公布號CN104630737A
- 申請公布時間2015年05月20日
- 分類號C23C14/56(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
