摘要：一種真空鍍膜機的光柵閥控制裝置，包括電氣控制系統、步進電機和光電限位機構，步進電機和光電限位機構均與電氣控制系統電氣連接，通過電氣控制系統控制步進電機和光電限位機構動作，所述步進電機的電機軸通過連接軸與光柵閥的主軸相連接，所述光電限位機構由兩個光電感應器和固定安裝在所述連接軸上的遮光盤構成，所述遮光盤上開有透光窄縫，它隨連接軸轉動，所述的兩個光電感應器以相互垂直方式安裝，分別對應光柵閥全開和全閉狀態。這種光柵閥控制裝置控制精度高，可以精確重復真空鍍膜工藝參數以保證鍍膜質量，并且可以實現自動化控制光柵閥開啟角度。
- 專利類型實用新型
- 申請人東莞市匯成真空科技有限公司;
- 發明人李志榮;李志方;羅志明;李秋霞;
- 地址523820 廣東省東莞市大嶺山鎮顏屋村第四工業區
- 申請號CN201020525409.2
- 申請時間2010年09月09日
- 申請公布號CN201801574U
- 申請公布時間2011年04月20日
- 分類號C23C14/00(2006.01)I;F16K31/04(2006.01)I;
教育裝備采購網在線客服
京公網安備11010802043465號
