摘要：本發明屬于真空鍍膜技術領域，具體地說是一種應用于真空鍍膜領域的鏈傳輸機構。包括導軌支架、基片托、帶拔齒的傳動鏈、基片及兩個主動鏈輪，其中導軌支架設置于真空腔體內，所述兩個主動鏈輪分別設置于導軌支架的下端兩側、并通過帶拔齒的傳動鏈傳動連接，所述基片托設置于帶拔齒的傳動鏈上、并與導軌支架滑動連接，所述基片安裝在基片托上；所述主動鏈輪驅動帶拔齒的傳動鏈水平移動，帶拔齒的傳動鏈上的拔齒帶動基片托在導軌支架上水平移動。本發明適用于熱場環境，能有效避免因熱形變導致的傳輸卡殼。
- 專利類型發明專利
- 申請人中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;
- 發明人劉麗華;馮彬;孫影;佟雷;馬錦;
- 地址110168 遼寧省沈陽市渾南新區新源街一號
- 申請號CN201210589980.4
- 申請時間2012年12月29日
- 申請公布號CN103046017A
- 申請公布時間2013年04月17日
- 分類號C23C14/56(2006.01)I;
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