摘要：本實用新型涉及自動化控制技術，具體公開了一種化學藥液供給系統。所述系統包括主用儲液罐、備用儲液罐、供液裝置和控制器，其中：供液裝置分別與主用儲液罐、備用儲液罐以及控制器相連接；主用儲液罐及備用儲液罐用于儲存并提供化學藥液；供液裝置用于接收控制器的指令，并根據指令將主用儲液罐或備用儲液罐中的化學藥液輸送給外部設備；控制器用于控制供液裝置將化學藥液輸送給外部設備。本實用新型提出的化學藥液供給系統能夠在不間斷供給的情況下更換藥液儲液罐，液體流動相對封閉，且能夠解決藥液流量變化較大時同一套供液系統不兼容的問題。
- 專利類型實用新型
- 申請人北京七星華創電子股份有限公司;
- 發明人初國超;何金群;裴立坤;王銳廷;王營營;
- 地址100015 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M2樓2層
- 申請號CN201220717785.0
- 申請時間2012年12月21日
- 申請公布號CN203131429U
- 申請公布時間2013年08月14日
- 分類號F17D1/14(2006.01)I;F17D3/01(2006.01)I;
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